中文版產(chǎn)品名稱：MASFLO-OVAL II（FHA、FHB）
概 要
可以測(cè)量或控制各種氣體的熱式質(zhì)量流量計(jì)/控制器。適用于各種氣體供給系統(tǒng)、氣體混合工藝、實(shí)驗(yàn)工廠、半導(dǎo)體制造工藝、研究所等使用的氣體流量測(cè)量以及流量控制。
特 長(zhǎng)
・無(wú)溫度和壓力校正，可直接測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)換算（0℃、1 atm）后的流量
・適用的氣體種類很多
・也可測(cè)量混合氣體
・適用的氣體種類很多
・也可測(cè)量混合氣體
主要規(guī)格
| 機(jī)型 | FHA（流量表） | FHB（主流控制器） | |
| 連接 | 嵌入式接頭、金屬墊圈面密封接頭等 | ||
| 流量 | 最小 | 0.1mL/min（normal） ※1 | |
| ****** | 500Ｌ/min（normal） ※1 | ||
| 掉頭 | 1：50 | － | |
| 控制區(qū)域 | － | 2～100％ | |
| 使用溫度范圍 | －10～＋70℃ | ||
| 最高使用壓力 | 39.2MPa | 19.6MPa ※2 | |
| 精度 | 全標(biāo)±1%（實(shí)際氣體校正時(shí)） | ||
| 電源 | ±15VDC | ||
| 主體材料 | SUS316 | ||
| 輸出 | 模擬 | ||
| 結(jié)構(gòu) | 非防爆、IP20 | ||
| 應(yīng)用流體 | 原則上用化學(xué)式表示的氣體 | ||
※2：根據(jù)流量而不同。
